塗層技術及工藝流程塗層技術及工(gōng)藝流程塗(tú)層技術及工藝流程(chéng)塗層(céng)技術(shù)及工藝流程 1.真空塗(tú)層技(jì)術的(de)發展 真空(kōng)塗層技術起步時間不(bú)長,國際上在上世紀六十年代才出現將CVD(化學氣相沉積(jī))技(jì)術應用於硬質合金刀具上。由(yóu)於 該技術需在高溫下進行(工藝溫度高於 1000ºC),塗層(céng)種類單一,局限性很大,因此,其發展初期未免差強人意。 到了上世紀七十年代(dài)末,開(kāi)始出現 PVD(物理氣相沉積) 技術,為真空塗層開創了(le)一個充滿燦爛前景的新天地,之後在短短的二、三十年間PVD 塗層(céng)技術得到迅猛(měng)發展,究其原因,是因為其在(zài)真空密封的腔體內成膜,幾乎無任何環境汙染問題,有利於環保;因為其能得到光亮、華貴的表麵,在顏色上,成熟的有七彩色、銀色、透明色、金黃色、黑色、以及由金黃色到黑色之間的任何一種顏色,可謂五彩繽紛,能夠滿足裝(zhuāng)飾性的各種需要;又由於(yú) PVD 技術,可以輕鬆得到其他方法難以獲得的高硬度、高耐磨性的陶瓷塗層、複(fù)合塗層,應用在工裝、模具上麵,可以使壽命成(chéng)倍提高,較好地實現了低成本、高收(shōu)益的效果;此外, PVD 塗(tú)層技(jì)術具有低溫、高(gāo)能兩個特(tè)點,幾乎可以在任何基(jī)材上成膜(mó),因此(cǐ),應用範圍十分廣闊,其(qí)發展神速也就不足為奇。 真空塗層技(jì)術發展到了今天還出現了PCVD(物理化學氣相(xiàng)沉積)、MT-CVD(中溫化學氣相沉積)等新技術,各種塗層設備、各種(zhǒng)塗層工藝層出不窮,如今在這一領域中,已呈現出百花齊放,百家(jiā)爭鳴的喜人景(jǐng)象(xiàng)。 與此同時(shí),我們還應該清醒地看到,真空塗層技術的發展又是嚴重不平(píng)衡的。由於刀具、模具(jù)的工作環境極其惡劣,對薄膜附著(zhe)力(lì)的要求,遠高於裝飾塗層。因而,盡管裝飾塗層的廠家已遍布各地,但能夠生產工模塗(tú)層的廠家並不多。再加上刀具、模具(jù)塗層售後服務的欠缺,到目前為止,國(guó)內大多數塗層設備廠家都不能提供完整的(de)刀具塗層工藝(yì)技術(包(bāo)括前處理工(gōng)藝(yì)、塗層工藝、塗後處理工(gōng)藝、檢測技術、塗層刀具(jù)和模具的應用技術等(děng)),而且,它還(hái)要求工藝技術人員(yuán),除了精通塗(tú)層的專業知識以外,還應具有紮實的金屬材料與熱處理知識、工模(mó)塗層前表麵預(yù)處理知識(shí)、刀具、模具塗層的合理選擇以及上機使用(yòng)的技(jì)術 要(yào)求等,如果任一環節出現問題(tí),都會給使用者產生使用效(xiào)果不理想這樣的(de)結論。所有這些,都嚴重製約(yuē)了該技術在刀具(jù)、模具上的應用。 另一方麵,由於該技術是一門介乎材料學、物理學、電子、化學(xué)等學科的新(xīn)興邊緣學科,而國內(nèi)將(jiāng)其應用於刀具、模具生產領域內的為數不多(duō)的幾個骨幹廠家,大多走的也是(shì)一條從國外引進先進設備和工藝技術的路子,尚需一(yī)個消化、吸收(shōu)的過程,因此(cǐ),國內目前在(zài)該(gāi)領域內的(de)技(jì)術力量與其發(fā)展很不相(xiàng)稱,急需(xū)奮起直(zhí)追。 2. PVD 塗層的基本概念及其特點 PVD 是英(yīng)文“Physical Vapor Deposition”的縮寫形(xíng)式,意思是物理氣相沉積。我們現在一般地把
真空蒸鍍、濺(jiàn)射鍍膜、
離(lí)子鍍等都稱為物(wù)理氣相沉積(jī)。 較為成熟的 PVD 方法主要有(yǒu)多弧(hú)鍍與磁(cí)控(kòng)濺射(shè)鍍兩種方式。多弧鍍設備結(jié)構簡單,容(róng)易操作。它的離子蒸發源靠電焊機電源供電即可工作,其引弧的過程也與電焊(hàn)類似,具體地說,在一定工藝氣壓下,引弧針與蒸發離子源短暫接觸,斷開,使氣體放電。由於多弧(hú)鍍的成因主要是借助於不斷移(yí)動的弧斑,在蒸發源表麵(miàn)上連續形成熔(róng)池,使金屬蒸發後,沉積在基體上而得到薄膜(mó)層的,與磁控濺射相比,它不但有靶材利用率高,更具有金屬離子離化率高,薄膜(mó)與基體之間結合力強(qiáng)的優點。此外,多(duō)弧鍍(dù)塗層顏色較為穩定,尤其是在做 TiN 塗層時,每一批次(cì)均容易得到相同穩定(dìng)的金(jīn)黃色,令
磁(cí)控濺射(shè)法望塵莫及。多弧(hú)鍍的不足(zú)之處是,在(zài)用傳統的 DC 電源(yuán)做低溫塗層條件下,當塗層厚度達到0.3μm 時,沉積率與反射率接近,成膜變得非常困難。而且,薄膜表麵開始變朦。多(duō)弧鍍另一個不足之處(chù)是,由於金屬是熔後蒸發,因(yīn)此沉積(jī)顆粒較大,致密度低(dī),耐磨(mó)性比磁控濺射法成膜差。 可見,多弧鍍膜與磁控濺射法鍍膜各有優劣,為了盡可能地發揮(huī)它們各自的優越性,實(shí)現互補,將多弧技(jì)術與磁控技術合而為一的塗層機應運而生。在工(gōng)藝上出現了多弧(hú)鍍打底,然後利用磁控濺(jiàn)射法增厚塗層,最後再利用多弧鍍達到最終穩定的表麵塗層顏色的(de)新方法。 大約在(zài)八十年代中後期,出現了熱(rè)陰(yīn)極電子槍蒸發離子鍍、熱陰極弧磁(cí)控(kòng)等離子鍍膜機,應(yīng)用效果很好(hǎo),使TiN 塗層刀具很快得到(dào)普(pǔ)及性應用。其中熱(rè)陰(yīn)極電子槍蒸(zhēng)發離子鍍,利用銅(tóng)坩堝加熱融化(huà)被鍍金屬材料,利用(yòng)鉭燈絲(sī)給工件(jiàn)加熱、除氣,利用電子槍增強離化率,不但可以(yǐ)得到厚度 3~5μm的TiN 塗層,而且其結(jié)合力、耐磨(mó)性均有不俗表現,甚至(zhì)用打(dǎ)磨的方(fāng)法都難以(yǐ)除去。但是這些設備都隻適合於 TiN塗層,或純金屬薄膜。對於多元塗層(céng)或複合塗(tú)層,則力(lì)不從心,難(nán)以適應高硬度材料高速切 削以及模具應用多樣(yàng)性的要求。 3. 現代塗層(céng)設備(bèi)(均勻加熱技術、溫度測(cè)量技術、非平衡磁控濺射技術、輔助陽(yáng)極技術、中頻(pín)電源、脈(mò)衝技術) 現代塗層設備主要由真空(kōng)室、真空獲得部分、真空測量(liàng)部分、電源供(gòng)給部分(fèn)、工藝氣體輸入係(xì)統、機械傳動部分(fèn)、加熱(rè)及測溫(wēn)部件、離子蒸發或濺射源、水冷係統等部分組(zǔ)成。 3.1 真空室 塗(tú)層設備主要有連續塗層生產線及單室塗層機(jī)兩種形式,由於工模塗層對加熱及機械傳動部分有較(jiào)高要求,而且工模形狀、尺寸千(qiān)差萬別,連續塗層生產(chǎn)線通(tōng)常難以(yǐ)滿足要求,須采用單(dān)室(shì)塗層機。 3.2 真空獲得部分 在真空技術中,真空獲(huò)得部分是重要組成部分。由於(yú)工模件塗層高附著力的要求,其塗層工(gōng)藝開始前背景真(zhēn)空(kōng)度最好高於6mPa,塗層(céng)工藝結束(shù)後真空度甚至可達 0.06mPa 以上(shàng),因此合理(lǐ)選擇真空獲得設備,實現高真空度至關重要。 就目前來(lái)說(shuō),還沒有一種泵(bèng)能從(cóng)大氣壓一直工作到接(jiē)近超高真空。因此,真空(kōng)的獲得不是一種
真空設備和方法所能達到的(de),必須將幾種泵聯合使用,如機械泵、分子泵係統等。 3.3 真空(kōng)測量(liàng)部分 真空係統的真空測(cè)量部分,就是要對真空室內的壓強進行測量。像真空泵一樣,沒有一種真空計(jì)能測量(liàng)整個真空範圍,人們於是按(àn)不同的原理和要求製成了許多(duō)種類的真空計。 3.4 電源供給(gěi)部分靶電源主要有直流電源(如 MDX)、中(zhōng)頻電源(如美國 AE公司生產的 PE、PEII、PINACAL);工件本身通常需加直流電源(如 MDX)、脈衝電源(如美國AE公司(sī)生產的 PINACAL+)、或射頻(pín)電源(RF)。 3.5 工藝氣體輸入(rù)係統 工藝氣體,如氬氣(Ar)、氪(kè)氣(Kr)、氮氣(N2)、乙炔(C2H2)、甲(jiǎ)烷(CH4)、氫氣(H2)、氧氣(O2)等,一般均(jun1)由氣瓶供應,經氣體減壓閥、氣體截止閥、管路、氣體流(liú)量計(jì)、電磁閥(fá)、壓(yā)電閥,然後通入真空室。這種氣體輸入係(xì)統的優點是,管路簡捷、明快,維修或更換(huàn)氣瓶(píng)容易。各塗層機之間互(hù)不影響。也有(yǒu)多台塗層機共用一組氣(qì)瓶(píng)的情況,這種情況在一些規(guī)模較(jiào)大(dà)的塗層車間可能有機會看到。它的好處是,減(jiǎn)少氣瓶占(zhàn)用量,統一(yī)規劃、統(tǒng)一布局。缺點是,由(yóu)於接頭增多,使漏氣機會增加。而且(qiě),各塗層機之間會互相幹擾,一(yī)台塗層機的管路漏(lòu)氣,有可能會影響到其(qí)他塗層機的產品質量。此外,更換氣瓶時,必須保證所有主機都處於非用氣(qì)狀(zhuàng)態(tài)。 3.6 機械傳動部分 刀具塗層要求周邊必須厚度均勻一致,因此,在塗層過程中須有三個轉動量才能滿足(zú)要求。即(jí)在要求大工件台轉動(I)的同時,小的工件承載台也轉動( II),並且工件本身還能同時(shí)自轉(zhuǎn)(III)。 在(zài)機械設計上,一般是在大工件轉盤底部中央為一大的主動齒輪,周圍是一些(xiē)小的星行輪與之齧合,再(zài)用撥叉撥動工件自轉。當然,在做模具塗層時,一般有兩個轉動量就足夠了,但是齒輪可承(chéng)載(zǎi)量必須大大增強。 3.7 加(jiā)熱及測溫部分 做工模(mó)塗層的時候,如何保證被(bèi)鍍工件均勻(yún)加熱比裝飾塗 層加熱要重要得多(duō)。工模塗層設備一(yī)般均有前後兩個加熱器,用(yòng)熱電偶測控溫(wēn)度。但是,由於熱電偶裝夾的為置不同,因而,溫度讀數不可能是工件的(de)真實溫度。要想測得工件的真實溫度,有很多方法,這裏介紹一種(zhǒng)簡便易行的表麵溫度計法 (Surface Thermomeer)。該溫度(dù)計(jì)的(de)工作原理是,當溫度計受熱,底部的彈簧將受熱膨脹,使指針推動定位指針旋(xuán)轉,直到最高溫度。降溫的時候,彈簧收縮,指針(zhēn)反向旋轉,但定位(wèi)指針維持(chí)在最(zuì)高溫度位置不動,開門後,讀取定位指針指示的溫度,即為真空室內加熱時,表麵溫度計放置位置所(suǒ)曾達到的最高溫度值。 3.8
離子蒸發及濺(jiàn)射(shè)源 多弧鍍的蒸(zhēng)發源一般(bān)為圓餅形,俗稱圓餅靶,近幾年(nián)也出現了長方形的多弧靶,但未見有明顯效果(guǒ)。圓餅靶(bǎ)裝在銅靶座(zuò)(陰極座)上麵,兩者為羅紋連接。靶座中裝有(yǒu)磁鐵,通過前後移(yí)動磁鐵,改變磁場強(qiáng)度,可調整弧斑移動速度及軌跡。為了降低靶及靶座的溫度(dù),要給靶座不斷通入冷卻水。為了保證靶與靶座之間的高導電、導熱性,還可以在靶與靶座之間加錫(Sn)墊片。磁控濺射鍍膜一般采用長(zhǎng)方形或圓柱形(xíng)靶材(cái), 3.9 水冷係統 因為工模(mó)塗層時,為了(le)提高金屬原子的離化率,各個(gè)陰極靶座都盡可能地采用大的功率輸出,需要充分冷卻;而且,工模塗層中的許多種塗層,加熱溫度為 400~500ºC,因此,對真空室壁、對各個(gè)密封麵的冷卻也很重要,所以(yǐ)冷卻水最(zuì)好采用18~20ºC 左右的冷水機供水。為了防止開門後,低溫的真空室壁、陰極靶與熱的空氣(qì)接觸析出水珠,在開門前 10 分(fèn)鍾左右,水冷係(xì)統應有能力切換到供熱水狀態,熱水(shuǐ)溫度(dù)約為 40~45ºC。 4. 工模具PVD 的(de)工作步驟 工模具 PVD 基本工藝流程可簡述為:IQC→前處理→PVD→FQC,分別介紹(shào)如後。 4.1 IQC IQC(In Quality Control)的主要工作除了常規的清點數量 , 檢查圖紙與實物是否相符外,還須仔細檢查工件表麵,特別是(shì)刃(rèn)口部位有無裂紋等缺陷。有時對於一些(xiē)刀具(jù)、刀粒的刃口(kǒu),在體式(shì)顯微鏡下觀察,更方便發現問題;另外,IQC 的人員還要注意(yì)檢查(chá)待鍍膜件有無塑膠、低熔點的(de)焊料等,這些東西如(rú)果因漏檢而混入(rù)鍍膜(mó)程序,則將在真空室內嚴重放氣,輕者造成整批產品脫(tuō)塗層,重者使原本 OK 的(de)產品報廢,後果不堪設(shè)想。 4.2 前(qián)處理工藝(蒸汽槍、噴砂、拋光、清洗(xǐ)) 前處理的目的是(shì)淨化(huà)或粗化工件表麵。淨化就是(shì)要去除各種表麵玷汙物,製備潔淨(jìng)表麵。通常使用各種淨化劑,借助機械、物理或化學的方法進(jìn)行淨化。 粗化與光蝕相反,其(qí)目的(de)在(zài)於製備粗糙的表麵以提高噴塗層或塗料裝飾的結構強度(dù)。我們現在已有的前處理主要方法為:高溫蒸洗、清洗、噴砂、打磨、拋光等方法。 4.2.1 高溫蒸(zhēng)洗 目前,PVD 車間常用的高溫蒸洗設備是蒸(zhēng)汽槍。它的最大工作溫度可達 145?C,氣壓在 3~5 巴左右。由於模具中(zhōng)經常帶有一些細小孔、螺紋孔,孔內中常常有油汙、殘餘冷卻液等雜質(zhì),用常規清(qīng)洗的方法難以除去。此時,高溫蒸洗設備便可最大程度的發揮它的優越性(xìng)。
4.2.2 清洗 各廠工模塗層前清洗程(chéng)序大致如下: 1.超聲波除蠟→2.過水→3. 超聲波除油→4.過水→5. 超聲波自換→6.過水→7.過純水→8.強風幹燥 具體實施時,與我們所(suǒ)熟悉的裝飾塗層前的清洗又有許多不同。這是因為裝飾塗層的底材大(dà)多為不鏽鋼或(huò)鈦合金(jīn),不容易生鏽。此外,裝飾(shì)塗層(céng)對(duì)水印(yìn)、點痣等缺陷是絕對不允(yǔn)許的。因此,裝飾(shì)塗層對純水的水質要求極(jí)高,甚至要達到 15MΩ 以(yǐ)上(shàng)。要保證清洗的高質量,可以通過(guò)反複清洗,並在高質量的純水加超聲波(bō)中長時(shí)間浸泡來得到。但是,工模的清洗就不同,尤其是一(yī)些熱做模具鋼,如果像裝飾塗層那(nà)樣去清洗,就(jiù)會鏽得一塌(tā)糊塗。 由於工模塗層的原(yuán)始表麵狀態,除了一些高(gāo)標準的鏡(jìng)麵模具以外,一般(bān)較裝(zhuāng)飾塗層要粗糙,因而,對塗層後的表麵狀態的要求也不象裝飾塗層那樣高,這就允許我們采取快速過水,用幹燥、無油的壓縮空氣吹(chuī)幹,然後對工模強風幹燥的(de)方法來處理。而那些高標準的鏡麵模具,一般均為136 等不鏽(xiù)鋼,可以借(jiè)用(yòng)裝飾塗層的(de)清(qīng)洗法。 總而言之,工(gōng)模塗層前的清洗方法因工模所使用的材料的不同而不同,因工模(mó)塗層前(qián)的表麵狀態的不同而不同,且不(bú)可千篇一律。下麵是(shì)幾種(zhǒng)材(cái)料生鏽由難到易的排序,供參考:
不鏽鋼、硬質合金、金屬陶瓷合金、DC53、高速鋼、8407 有一種(zhǒng)自動(dòng)清洗機型號為 CR288,產自德國。該機一(yī)次最大 清洗量為 80KG,主要用於(yú)清洗刀具、小型零部件(jiàn)、或小尺(chǐ)寸的模具。它共有三個清洗缸,裏麵的溶液分別為自來水+清(qīng)洗劑、自來(lái)水、去離子水。除了常見(jiàn)的超聲波、大(dà)水衝洗、噴淋、擺動、熱(rè)風幹燥等功能外,該機另外一(yī)個優點是最後設有抽真空步驟,可以使水分盡快揮發掉。 自動清洗機內(nèi)存十(shí)種工藝,均由供方預先(xiān)設定。一至九可分別用於不同類型的產品、不(bú)同的表麵狀態的淨化處理。第十種用於加注清洗劑。 4.2.3 噴砂 噴砂(shā)法是借助壓縮空氣使磨料(liào)強力衝刷工件表麵,從而去除鏽蝕、積碳、焊渣、氧化皮、殘鹽、舊漆層(céng)等表(biǎo)麵缺陷。按磨料使用(yòng)條件,噴砂分為(wéi)幹噴砂與濕噴(pēn)砂兩類。 噴砂的工藝參數主要有槍距、傾角、裝(zhuāng)夾台旋轉速度、移動速度(dù)、行程、往返次數、噴砂時間、噴砂氣壓。我們已使用過(guò)的參數有(yǒu)槍距:30~70mm; 傾角 30~70?C; 裝夾台(tái)旋轉速度 10~30;往返次數 3~9 次;噴(pēn)砂氣壓:1.8~3.5 巴等(děng)。具體操作時(shí),根據工件表麵髒汙程度,工(gōng)件(jiàn)硬度,工件表(biǎo)麵(miàn)幾何形狀等因素,選取上下限。我們在幹噴砂機中所選用的磨料為玻璃(lí)珠,適(shì)合噴一些硬度介中的材料,如油(yóu)鋼、模具等;在液體噴砂機(jī)中所選用的磨料為氧化鋁,硬度較高,適合噴一些硬度高的(de)材料,如硬質合(hé)金材料。對(duì)於(yú)工模塗層而(ér)言,噴(pēn)砂所使用的磨料粒度(dù)也很重要。如果磨料粒度過大,則工件表麵太粗糙;如果磨料粒度太小,又會降低衝擊力度,甚至嵌在工件表麵,清洗難(nán)以去除,從而使工件塗層附著力降低。為此,歐洲一些國(guó)家,對工模塗層前噴砂 所用磨料粒度(dù)做過仔(zǎi)細研究,嚴格到必須保證 85%以上的(de)晶粒度在中 A、B 兩點範圍內才能使用。相比之下,我國磨料的供應(yīng)商還缺乏這方麵的共識(shí),我們也很少有做(zuò)這方麵的檢驗。 4.3 PVD 塗層工藝(加熱、離子(zǐ)清洗(xǐ)、塗層、冷卻、工藝氣體、氣壓、溫度、濺射功率) 4.4 FQC FQC 的英文全拚為:“Function Quality Control”,意(yì)思是功能質量控製,它有別與一般(bān)意義上的 OQC(Out Quality Control) 。FQC 的內容主要(yào)包括外觀(guān)檢查、層深檢查、附著力檢(jiǎn)查、耐磨性檢查、抗蝕性檢查、模擬性測試(shì)等方法。我廠目前應用的主要有(yǒu)外觀檢查、層深檢查和附著力檢查。由於我們所接觸的產品大多都(dōu)是不允許做破壞性檢查的,因而我(wǒ)們在鍍膜時(shí),每批都會放(fàng)進隨批試樣。做層深檢查和附著力檢查(chá)的時候,大(dà)多數情況下,實際上是對隨批試樣進(jìn)行檢查。因為(wéi)試樣與產品在原材料、熱處理狀態、裝(zhuāng)夾位置(zhì)等(děng)方麵都(dōu)難於一致,所以這樣檢測出的結果,與產品實際值會有一定的誤差(chà)。有時可能還會(huì)有相當大(dà)的誤(wù)差,隻能(néng)做參(cān)考使用。當然,必要的時候,我們也可以通過(guò)製作模(mó)擬件,達到準確測量的目的(de)。
4.4.1 外觀檢
對於開門取件(jiàn)後的產(chǎn)品,應(yīng)仔細檢查表麵(miàn)有無裂紋、掉塗層、疏鬆等缺陷。對(duì)於刀具、刀粒(lì),還需在顯微鏡(jìng)下仔細(xì)檢查它們的刃口狀態。 4.4.2 層深檢查(chá) 層(céng)深檢查有切(qiē)片金相觀察法、X-ray 檢查法、用單色光做光源的光學測試法、球磨儀測試法等多種方(fāng)法。工模塗(tú)層的層深檢查(chá)是(shì)在球磨儀上進行(háng)的。方法是(shì)先用直徑為 10mm 的鋼球與測試表麵滾磨(mó),然後在顯微(wēi)鏡下測量磨痕的有關數據,帶(dài)入公式中,即可方便算出層(céng)深。 這種層深檢查法的特點是:方便適用,誤差稍大。但這種誤差應用(yòng)於工模上麵影響不會太大。有興趣的同事還可參閱有關的(de)說明書。附著力的檢查方法有(yǒu)很多,各個廠根(gēn)據自己產品的特點,都製定了相應的檢(jiǎn)測方法。其中,比較權威的方法(fǎ)有兩種,一種是在洛氏硬度計上,以圓(yuán)錐型金剛石壓頭(tóu)做壓痕試驗,在顯微鏡下觀察,以壓痕周邊裂紋的多少來判斷(duàn)塗層(céng)附著力的高低。該方法對金剛石壓(yā)頭的形狀要求很高,不但嚴格要求中心(xīn)點在圓的中心,而且金剛石圓錐的圓(yuán)度必須十(shí)分規則。遺憾的(de)是,目前,我國還沒有(yǒu)它的(de)國家或行業標準;另一種方法是劃痕法,我(wǒ)國有些塗層發起較早的科研部門,也是采用(yòng)的該方法,有專門的國家(jiā)行業標準(zhǔn)可供查詢(xún)。 5. 工裝夾具的處理 6. 塗後處理工藝(噴砂、塗脂技(jì)術,拋光處理) 7. 檢測技術(結合力的檢測、層深(shēn)的檢測、酸蝕) 8. 塗層剝離技術(TiN/TiAlN 的剝離技術、CrN/DLC/CrAlTiN 的剝離技術、硬質合金的表麵塗層剝離技術) 9.塗(tú)層刀具的應用技術(塗層的正確選擇、塗層刀具的正確使用 塗層對刀(dāo)具的優(yōu)化非常大,由於(yú)高速切削加工比傳統切削加工所(suǒ)產生的溫度要高,應用塗(tú)層(céng),可以(yǐ)發揮其耐高溫、抗氧化及(jí)加硬材質等作用。例如,氮化鉻(CrN)塗層可降低磨擦(cā)係數,改善光(guāng)潔度及排屑情況
