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真空鍍膜機器幾種常用的真空計

作者: 來源: 日期:2016-03-25 10:42:02 人氣:4271
        電阻真空計(又叫皮喇尼真空計): 
        它主要(yào)由電(diàn)熱絲、外殼和支架構成,主要是根據在低壓下,氣體的熱傳導係數與壓(yā)強(qiáng)成正比的方式工作的(de)。上麵開(kāi)口處與被測(cè)真空(kōng)係統相連接,熱(rè)絲采用電阻溫度係(xì)數大的金屬絲做成,兩支支架引線與測量(liàng)線(xiàn)路連接。當壓(yā)強降低的時候,由於氣體熱傳導散失的熱量減小,因此當熱(rè)絲(sī)加熱電流穩定時候,則熱絲(sī)溫度就上升,熱絲的電(diàn)阻(zǔ)就增大,用測量熱(rè)絲電阻值的大小來間接測量壓強。

         磁控放電真空計: 
        工作原理:在放電開始時,由於空間遊離電子向陽極運動時(shí),在正交電磁場作用下,電子的軌跡不是直(zhí)線而是螺(luó)旋(xuán)線前進,又(yòu)因(yīn)為陽極是框形,故電子不一定第一次就碰上陽極,而是穿過陽(yáng)極,然後受到對麵陰極的拒斥,又複返回。這樣反複多次才可能打上陽極。由於電子路程大大加長,故(gù)碰撞及電離的分子數增加(jiā),使得在較低壓強(10-4帕以下)仍維持放電(也稱潘寧放電)。
         目前比較多的型號有PKR251、GI-PARY 

          放電(diàn)管真空計:

         在玻璃管中封入兩個金屬電極,在其上加上數千伏(fú)的直流高(gāo)電壓,在(zài)一定的壓強範圍內(1*10-3~2*10托)內就能引起自持放電,通過放電(diàn)顏色來判定其真空度 。 目前為(wéi)止此種真空計已經很少使用,因(yīn)為其誤差大,容易損壞(huài),而且壽(shòu)命不長。

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