油擴散泵的應（yīng）用壓強範（fàn）圍是10-1帕-10-7帕，它是利用氣體的擴散現象來排氣的，它具有結構簡單，操作方便，抽速大（最高（gāo）可以達到10+5升/秒）等特點。油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導流管和加熱（rè）器組成，裏麵主要添加擴散泵油（日本的型號是D-704#），根據噴嘴的多少可（kě）以分為單級泵和（hé）多級（jí）泵。 

        擴散泵底部內儲存有擴散泵油，上部為進氣（qì）口，右側旁下部為出氣口，在工作時出（chū）氣口由機械泵（bèng）提（tí）供前置壓強，機械泵充（chōng）當前置泵。 

        當（dāng）擴散泵的油被電爐加熱時，產生的油蒸汽（qì）提供前置壓強，機械泵充（chōng）當前置泵。當擴散泵油被電爐加熱時，產生的油蒸汽沿著導流（liú）管經傘（sǎn）形噴嘴（zuǐ）向下噴出。因噴嘴外麵有機械泵提供的1-10-1帕（pà）的真空，故油（yóu）蒸汽可噴出一段距離，構成（chéng）一個向（xiàng）出氣口方向運（yùn）動的（de）射流。射流（liú）最後碰上由冷卻水冷卻的泵壁（bì），凝結為液體，流回蒸發器，即靠油的蒸發（fā）——噴射——凝結，重複循環來實現（xiàn）抽氣的。 

         由進氣口進入泵（bèng）內的氣體分子，一旦落入蒸汽流中，便獲得向下運動的動量，向（xiàng）下飛去，由於射流具（jù）有高的流速（sù）（約200米/秒），高的蒸汽密度（dù），且擴散泵（bèng）油（yóu）具有高的分子量（300-500）故能有效的帶走氣體分子，因此在射流（liú）的界麵（miàn）內，氣體分子不可能長期滯留，且在射流界麵的兩邊，被抽氣體有很大的濃度（dù）差，正是因為這個濃度差被抽氣（qì）體能不斷的（de）越過界麵，擴散進入射流中，被帶往出（chū）口（kǒu）處，在（zài）出口處再（zài）由機械泵抽走。 

         擴散泵的油蒸汽壓是（shì）決定泵的極限真空的重（chóng）要（yào）因（yīn）素，因（yīn）此（cǐ）盡（jìn）量選用飽和蒸汽壓低的泵（bèng）油，其（qí）化學特性要（yào）好。 

         擴散泵不能單獨用來抽（chōu）氣，一般要求泵的最大出口壓強（qiáng）為40帕。擴（kuò）散泵的抽速決定於第一級噴嘴與泵體進氣口口徑間（jiān）環形麵積的大小，抽速不是一恒定（dìng）的值（zhí），而是隨著進氣口（kǒu）的壓強而變化的，當壓強在10-2～10-3帕的時候，擴散泵的抽氣速度（dù）是（shì）最快的（de），當壓強小於5*10-4帕之後（hòu），擴散泵的抽氣速度最小，幾乎沒有抽氣能力（此時，進氣口的壓（yā）強較高，由於空氣的密度較大，使蒸汽流形（xíng）成不了高速射流以（yǐ）阻擋空（kōng）氣的反擴散，所以抽（chōu）速下降（jiàng））。 

        擴散泵在安（ān）裝前要清洗，之後才可以裝入擴散油，油在加熱前，必（bì）須要先對泵抽真空，停機前要先將擴散泵油（yóu）冷卻到60～70攝氏度，才可以關（guān）閉前級抽（chōu）氣，最後關冷卻水。 

       由（yóu）於油擴散（sàn）泵（bèng）是無法杜絕有返油（yóu）的（de）幾率，那麽（me）沒有辦（bàn）法保證精密產（chǎn）品的100％純淨，特別是半導體行業，所（suǒ）以就有“高真空冷（lěng）凝泵＋低真空機械泵”所組成的無油真空係統，冷凝泵組成的排氣係統不僅排氣效率極高，而且有效保（bǎo）證真空腔（qiāng）的清潔，保證產（chǎn）品（pǐn）的質量（liàng）（避免（miǎn）產（chǎn）品被（bèi）汙染、增強（qiáng）膜層（céng）與基板之間（jiān）的附（fù）著（zhe）力），但是其維護成本非（fēi）常的高（gāo），造價昂貴（guì），所以普及率沒有油擴散泵廣泛。 

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