CJ係列磁控濺射真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣(qì):83806
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺(jiàn)射(shè)工作(zuò)原理,所謂“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表麵原子從母體中逸出(chū)的現象。早在1842年Grove在(zài)實驗室中(zhōng)就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為曲線形,均勻電場和對數電場則分別用於平麵靶和同軸(zhóu)圓柱靶。電子在電場作用下,加速(sù)飛向基片(piàn)的過程中與氬原(yuán)子發生碰撞。若電子具有(yǒu)足夠的能量(約為30ev)時,則電離(lí)出Ar+並產生(shēng)電(diàn)子(zǐ),電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速(sù)飛向陰極(濺射(shè)靶)並以高能量轟擊靶(bǎ)表麵,使靶材發生濺射。
廣泛應用於家電電器、鍾表、高(gāo)爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器(qì)儀表、塑料、玻璃(lí)、陶(táo)瓷、磁磚(zhuān)等表麵裝飾性鍍膜及工模具(jù)的功能塗層,在鍍製超黑(hēi)膜、純金裝飾(shì)膜、導電膜等領域有優勢。
1)、膜厚可控性和重(chóng)複(fù)性好。能夠可靠(kào)的鍍(dù)製預定厚度(dù)的薄膜,並且濺射鍍膜可以(yǐ)在較大的表麵上獲得(dé)厚度均勻的膜(mó)層(céng);
2)、薄膜與基(jī)片的附著力強。部分高能量的濺(jiàn)射原子產生(shēng)不同程度的注入現象(xiàng),在基片上(shàng)形(xíng)成一(yī)層濺射原子與基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊材料的薄膜(mó),可以使(shǐ)用不同的材料同時濺射製(zhì)備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高,濺射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加(jiā)熱直接(jiē)常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺(chǐ)寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組(zǔ) | KT500擴散泵機組 | KT800擴散泵機組 | KT630擴散泵機(jī)組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統(tǒng) | 直流或中頻(pín)電源、鍍膜輔助離子專用電源 |
充氣係統 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質量(liàng)流量計 | 質量流量計 | 質量流(liú)量計(jì) |
控(kòng)製方式 | 手動或全(quán)自動 | 手動(dòng)或全自動 | 手動或全自動 | 手動或(huò)全自動 | 手動或(huò)全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
極限真(zhēn)空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數僅做(zuò)參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂(dìng)做(zuò) |