真空鍍膜機主（zhǔ）要指（zhǐ）一類需要在較高真空度下進行的鍍（dù）膜，具體包括很多（duō）種類，包括真空離子（zǐ）蒸發，磁控濺射，MBE分子束外（wài）延，PLD激（jī）光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。真空鍍膜機是目前製作真空條件應（yīng）用最為廣泛的設備，對其（qí）操作程序的了解是至關重要的環節，在真空鍍（dù）膜機的具體操作過程中建議參照（zhào）以下標注說明：

        一（yī）、 檢查真空鍍膜機各（gè）操作控製開關是否在（zài）"關"位置。

        二、打開總電源開關，設備送電。

        三、低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲後（hòu），啟動升鍾罩閥，鍾罩升起。

        四、安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄（báo）膜和鋁蓋板固定在轉動圓盤（pán）上。把鋁絲（sī）穿放在螺旋加熱子內。清理（lǐ）鍾罩內各（gè）部位，保證無任何雜質汙物。

        五、落下鍾（zhōng）罩。

        六、啟動抽真空機械泵。

        七（qī）、開複（fù）合真空計電源（yuán）(複合真空計型號（hào）:Fzh-1A)。

               1）左旋鈕"1"順時針旋轉至指向2區段的（de）加熱（rè）位置。

               2）低真空表"2"內指針順時針移動，當（dāng）指針移動至110mA時，左旋鈕（niǔ）"1"旋轉至指向（xiàng）2區段測量位置。

        八、當低真空表"2"內指針再次順時針移（yí）動至6.7Pa時，低壓（yā）閥推入。這時左旋鈕"1"旋轉至指向1區（qū）段測量位置。

        九、 真空鍍膜機開通冷卻水，啟動擴散泵，加（jiā）熱40min。

        十、低壓閥拉出。重複一次（cì）⑦動作程序:左下旋鈕"1"轉至指向2區段測量位置（zhì）。低真空（kōng）表"2"內指針順時針移動，當指針移動至6.7Pa時，開（kāi）高壓（yā）閥（fá）(閥杆（gǎn）順（shùn）時針旋轉)。

        十一、等低真空表"2"內指針右移動至0.1Pa時，開規管燈絲開（kāi）關。

                1）發射、零點測量鈕（niǔ）"9"旋轉（zhuǎn）至指向發射位（wèi）置。

                2）左下旋鈕（niǔ）"1"旋轉至指（zhǐ）向1區段測量位置。

        十二、 旋轉發射調節鈕"4"，使高（gāo）壓真（zhēn）空表"5"內（nèi）指針指向5。

        十三、 發（fā）射、零點、測量旋鈕（niǔ）"9"旋轉至指向零點位置。

        十四、旋轉零點調（diào）節鈕"10"，讓高（gāo）壓真空表"5"內指針指向0位置。

        十五、 發射、零（líng）點、測量旋鈕"9"旋轉至指向測（cè）量位置。

        十六、旋轉標準調節鈕"3"，讓高壓真空表"5"內指針指向10。

        十七、旋轉"倍加器"開關鈕"8"至指向10-12，當高壓真空表"5"內指針逆時針左移超過1時，再（zài）把"倍（bèi）加器"開（kāi）關旋鈕"8"旋轉至指向10-3。

        十八、當高壓真空（kōng）表"5"內指針逆（nì）時針移動超過6.7Pa時，開工（gōng）件旋轉鈕開關，鍾罩內被鍍件PVDF膜轉動。

        十九、開蒸（zhēng）發鈕開關。把電流分插塞插入蒸發電極分配孔內(設有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。

        二十、 右手旋轉右側調（diào）壓器手輪，慢慢（màn）旋轉升壓。

                  1）從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子的加熱溫度顏色變化情況。

                  2）當鎢（wū）螺旋加熱子顏色變成黃橙色，鋁絲開始（shǐ）熔化時，左手操作擋板鈕，移開鎢螺旋上方（fāng）擋板。

                  3）鋁絲全部熔化蒸發，擋板回原位。

                  4）右手旋轉調壓器手輪回零位。第一次蒸鍍工作（zuò）完成。

        二十（shí）一、 如果（guǒ）再想蒸鍍一次(為了增加電極金屬層厚度):把電流分插塞撥出（chū）插（chā）入另一（yī）個電極分配孔。重（chóng）複⑳操（cāo）作（zuò）動作（zuò）。

        二十二、 關閉規管（guǎn）燈絲開關。關（guān）閉高壓閥（fá）(逆（nì）時針轉手（shǒu）柄)。關（guān）閉工件旋轉。關閉蒸發。旋轉（zhuǎn）機械泵鈕至指（zhǐ）向擴散泵位置。

        二十（shí）三、 低（dī）壓閥拉出。鍾罩充氣。充氣（qì）一段時間，當沒有氣.聲時，升鍾罩（zhào）。

        二十四、鎢螺旋加熱子內加鋁絲。PVDF薄膜調（diào）換另一麵向下 (原下麵已鍍一層鋁膜麵向上)。緊固在（zài）轉動圓盤（pán）上。

        二十五、 落（luò）鍾（zhōng）罩。開機械泵。

                    1） 左下旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置 。

                    2）當低壓真空表"2"內指針順時（shí）針（zhēn）移動到6.7Pa時，低壓閥推（tuī）入（rù）。

                    3） 左下旋鈕"1"旋轉（zhuǎn）至指向1區段測量（liàng）位置。

                    4）當低壓真空表"2"內指針（zhēn）順時針移動到6.7Pa時（shí），開高壓閥。旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

                    5）當低壓真空表"2"內指針順（shùn）時針（zhēn）移動到指向0.1Pa時，開規管（guǎn）燈絲。

                    6）由⑰開始重複操作至⑳ 。

        二十（shí）六、 正常生產中，如遇到突然停電時，要立即切斷高（gāo）真空測量，關閉規管燈絲，高壓閥、低（dī）壓閥拉出。來電後，先讓機械（xiè）泵啟動工作3~5min後，再（zài）轉入（rù）正（zhèng）常生（shēng）產。