超大型板材管材真(zhēn)空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:16:58 人(rén)氣:25220
超大(dà)型板(bǎn)材管(guǎn)材真空鍍膜機(jī)

工作原理(lǐ)

離子鍍是真空室中,利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的(de)同時,將蒸發物或反應物沉積在(zài)基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真(zhēn)空蒸發三(sān)者有機結合起來,不(bú)僅能明顯地改進了(le)膜(mó)質量,而且(qiě)還擴大了薄膜的應用(yòng)範圍。其優點(diǎn)是薄膜附(fù)著力強,繞射(shè)性好,膜材廣泛等。多弧離子鍍與一般的離子鍍有著很大的區別。多弧離(lí)子鍍采用的是弧光放電,而並不是傳統離子鍍的輝光放電(diàn)進行沉積。簡單的說,多弧離子鍍的原理(lǐ)就是把陰(yīn)極靶作為蒸(zhēng)發源,通過靶與陽極殼體(tǐ)之間的弧光放電,使靶材蒸發,從而在空間(jiān)中形成等離子體,對基體進行沉積。

應用範圍

可以鍍製不鏽鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬膜,也可鍍製合金膜(mó)或化合物(wù),如TiN\TiAlN\CrN膜等,臥式(shì)多弧離子鍍膜(mó)機主要針對(duì)大麵積五金工件鍍裝(zhuāng)飾膜或者功能膜,適合於在不鏽鋼板、不鏽鋼管、不鏽(xiù)鋼門等工件表麵鍍(dù)膜。

產品特點

1)、此類設備真空室最大尺寸能實現 φ5000X10000MM(長)
2)、是在大型(xíng)板材、管材上鍍製各類裝飾膜層及功能膜膜層的適合(hé)設備。

技術參數表

HLB係(xì)列大型板材管材真空鍍膜(mó)機     
型號HLB-1800HLB-2000HLB-3000HLW-2000HLW3000HLW-4000HLW-5000
真空室尺寸 Φ1800×2000MMΦ2000×2000MMΦ3000×3000MMΦ2000×6000MMΦ3000×6000MMΦ4000×8000MMΦ5000×10000MM
真空(kōng)機組雙KT800擴散泵(bèng)機組雙KT1000擴散泵(bèng)機(jī)組雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴(kuò)散泵機組雙KT1000擴散泵機(jī)組*2套雙KT1000擴散泵機組*2套(tào)雙KT1000擴散泵機組*4套
鍍膜係統專用多(duō)弧鍍(dù)膜電源+多功能孿生磁環弧靶+柱形(xíng)弧靶(可選配)
輔助鍍膜係統(tǒng)低溫離子輔助源(除工具鍍外無需加溫係統)
充氣係統質量流量(liàng)計
控製方式手動或全(quán)自動
抽氣(qì)速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極(jí)限真空5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa
備注以上(shàng)設備參數(shù)僅(jǐn)做參考(kǎo),具體均按客戶實際工藝要求設(shè)計(jì)訂做
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